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點擊:1098  發(fā)布時間:2017-11-29

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2 伺服驅動器 panasonic/松下 CCD X、CCD Y、平臺Z 日本
4 直線電機 Haydon/海頓 微調平臺X,Y1,Y2軸 美國
3 步進電機 Shinano/信儂 其余各軸 日本
5 滾珠絲杠 HIWIN/上銀 CCD X軸、CCD Y軸、平臺Z軸、軌道調寬、刮刀升降、刮刀Y軸 臺灣

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